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超純水系統(tǒng)組成及各組件原理
超純水最初是美國(guó)科技界用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其他適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)的水，用于開(kāi)發(fā)超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)。).現(xiàn)在超純水已經(jīng)廣泛應(yīng)用于生物、醫(yī)藥、汽車(chē)、半導(dǎo)體等制造領(lǐng)域。除了水分子(H20)，這種水中幾乎沒(méi)有雜質(zhì)。超純水是一般工藝難以達(dá)到的程度，比如水的電阻率大于18M。Ω*cm，接近于18.2MΩ*cm被稱(chēng)為超純水。
超純水系統(tǒng)簡(jiǎn)介
超純水系統(tǒng)包括4個(gè)處理系統(tǒng)：
預(yù)處理系統(tǒng)；反滲透系統(tǒng)；EDI(混合床)系統(tǒng)；精細(xì)處理系統(tǒng)
傳統(tǒng)的超純水系統(tǒng)工藝流程：
原水箱→原水泵→絮凝劑（PAC）→多介質(zhì)過(guò)濾器（MMF）→活性炭過(guò)濾器（ACF）→陽(yáng)床→預(yù)處理水箱→RO送水泵→阻垢劑殺菌劑→安全過(guò)濾器RO→一級(jí)RO高壓泵→一級(jí)反滲透→中間水箱→二級(jí)RO送水泵→二級(jí)RO高壓泵→二級(jí)反滲透→中間水箱→EDI送水泵→EDI裝置(或混床)→混合床保安過(guò)濾器→紫外線(xiàn)殺菌UV→氮封純水箱→終端循環(huán)泵→除TOC UV裝置→拋光混床→終端安全過(guò)濾器→終端微濾→循環(huán)提升泵→終端用水點(diǎn)→氮封水箱
預(yù)處理的作用
原水箱：
對(duì)外網(wǎng)自來(lái)水供水系統(tǒng)進(jìn)行檢修的壓力進(jìn)行緩沖，水箱大小可取純水系統(tǒng)產(chǎn)水量的2-3倍。
多介質(zhì)過(guò)濾器（MMF）：
石英砂過(guò)濾器可通過(guò)添加混凝劑去除水中的顆粒雜質(zhì)和懸浮物。（PAC）能使膠體顆粒絮凝，從而降低原水的濁度（NTU）、顆粒（SS）改善原水水質(zhì)。
活性炭過(guò)濾器（ACF）：
活性炭吸附器除了具有MMF特性外，還含有大量表面積和吸附能力強(qiáng)的活性炭，對(duì)水中游離氯的吸附率在99%以上，對(duì)有機(jī)物和色度的去除率也很高。
陽(yáng)床：
水中溶解的鈣鎂離子可以交換，從而降低水的硬度。
超濾（UF）：
超濾是以超濾膜為過(guò)濾介質(zhì)。在一定壓力下，當(dāng)原液流過(guò)膜表面時(shí)，超濾膜表面密集的許多微孔只允許水和小分子物質(zhì)通過(guò)。功能與多介質(zhì)過(guò)濾器相同。
預(yù)處理水箱：
主要是緩沖預(yù)處理系統(tǒng)的反洗再生維修壓力，水箱大小可取純水系統(tǒng)產(chǎn)水量的2-3倍。
反滲透（RO）作用
RO安全過(guò)濾器：
RO安全過(guò)濾器通常由SUS304制成。經(jīng)過(guò)石英砂過(guò)濾器和活性炭過(guò)濾器后，原水中的大顆粒懸浮物已經(jīng)基本去除，而一些小顆粒懸浮物沒(méi)有去除。在這里，再次進(jìn)行微濾，去除5個(gè)μ超過(guò)m的懸浮物，以保護(hù)RO膜不被堵塞。與此同時(shí)，一些活性炭細(xì)沫也被截留在反滲透系統(tǒng)之外。
反滲透（RO）：
RO系統(tǒng)主要用于去除水中的陰離子、陽(yáng)離子和有機(jī)物、熱源和細(xì)菌。RO系統(tǒng)是一種由RO膜導(dǎo)流布和中心管制成的膜分離技術(shù)膜元件，具有選擇透過(guò)(半透過(guò))膜的功能，以壓力為驅(qū)動(dòng)力。多個(gè)RO元件裝入不銹鋼耐壓外殼，形成RO元件。
工藝脫鹽系統(tǒng)的關(guān)鍵、成熟的工藝設(shè)計(jì)和合理的操作、控制和管理直接決定了系統(tǒng)的正常穩(wěn)定出水。與RO膜的使用壽命有關(guān)。RO系統(tǒng)處理后的出水量去除了大多數(shù)無(wú)機(jī)鹽和幾乎所有的有機(jī)物質(zhì)、微生物(細(xì)菌、熱源等)。)，從而保證了RO系統(tǒng)的質(zhì)量和質(zhì)量。
EDI混床（MB）作用
EDI：
結(jié)合電滲析和離子交換的優(yōu)點(diǎn)，在EDI設(shè)備中，進(jìn)水中的各種離子在樹(shù)脂交換后被去除，水被純化。這時(shí)，離子交換原理被用來(lái)去除水中的離子。水分子被電解成氫離子和氫氧根離子來(lái)再生樹(shù)脂，同時(shí)，在電流的作用下，氫離子和氫氧根離子交換的離子被轉(zhuǎn)移到濃水室排放，從而達(dá)到連續(xù)再生和連續(xù)產(chǎn)水的目的。
與混合床相比，EDI的優(yōu)點(diǎn)是不需要酸堿再生、酸堿儲(chǔ)備和酸堿稀釋運(yùn)輸設(shè)施，使用安全可靠，避免工人接觸酸堿。節(jié)約了再生水和再生污水處理設(shè)施。降低了運(yùn)行維護(hù)成本，占地面積小，安裝簡(jiǎn)單，產(chǎn)水率高，連續(xù)運(yùn)行，產(chǎn)品水質(zhì)穩(wěn)定，不會(huì)因再生而停機(jī)。
混床：
將樹(shù)脂與陰陽(yáng)混合，吸附置換水中的陰陽(yáng)離子，可以制備不同的電阻值得純凈水。
混合床保安過(guò)濾器：
一方面是防止混床樹(shù)脂泄漏污染氮密封水箱，另一方面是過(guò)濾阻擋混床樹(shù)脂再生時(shí)摩擦產(chǎn)生的微小顆粒。一般混床安全過(guò)濾器的過(guò)濾直徑為1μm。
殺菌UV：
用256nm紫外線(xiàn)殺死混床產(chǎn)水中的細(xì)菌，防止氮封水箱細(xì)菌滋生。
精處理系統(tǒng)
氮封水箱：
超純水氮密封水箱是在密封的水箱中加入一定量的氮?dú)?，以確保水箱的一定壓力。氮是一種惰性氣體，可以防止二氧化碳等其他物質(zhì)溶解在水中，影響水質(zhì)，保證水箱內(nèi)的水不受二次污染，導(dǎo)致水質(zhì)下降。
除了TOC紫外燈（TOCUV）：
高能紫外線(xiàn)燈發(fā)出185nm波長(zhǎng)，可以刺激水的光分解，產(chǎn)生能量極高的氫氧根離子。當(dāng)TOC完全氧化時(shí)，這些氫氧根離子會(huì)攻擊有機(jī)化合物，并將其分解為二氧化碳和水。一些有機(jī)物被分解成易氧化的酸基，這些酸基很容易被拋光混合床去除。
拋光混床（polish）：
為了確保超純水系統(tǒng)的終端出水水質(zhì)。一般來(lái)說(shuō)，出水水質(zhì)可達(dá)18兆歐以上，對(duì)TOC、SiO2具有一定的控制能力。不可再生的拋光混床。
終端安全過(guò)濾器：
一方面是防止拋光混床樹(shù)脂泄漏污染終端超濾和純水循環(huán)管道，另一方面是過(guò)濾阻擋使用拋光樹(shù)脂時(shí)摩擦產(chǎn)生的微小顆粒。終端安全過(guò)濾器的過(guò)濾直徑為0.1μm。
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